質量流量控制器
MEMFO質量流量控制器,采用內部補償型層流技術,使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異,并對用戶標準工況進行修正。MEMFO系列數字式質量流量計可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質量流量、體積流量,適用于多種流量測控場合。并保持極佳穩定性,且超低壓降。主要應用于大學、研究所、泄漏檢測、環境監測、真空行業及鍍膜、工業爐窯、半導體、汽車制造、光伏、燃料電池、計量、過程工藝氣體測量、量程0-0.2SLPM到0-3000SLPM,100